反超臺積電,三星3nm GAA工藝2022年上半年量產(chǎn)!2nm將于2025年量產(chǎn)

10月7日消息,在今日的舉行的“Samsung Foundry Forum 2021”論壇活動上,三星推出了全新的17nm工藝,并宣布將于2022年上半年量產(chǎn)3nm制程,更先進的2nm制程將于2025年量產(chǎn)。
推出全新17nm工藝
在此次論壇上,三星宣布推出了全新的17LPV工藝,即Low Power Value的17nm工藝。
實際上,17LPV工藝就是28nm工藝的演進版,其融合了28nm BEOL后端工序、14nm FEOL前端工序,也就是在28nm節(jié)點的基礎(chǔ)上,加入了14nm FinFET立體晶體管,只需不高的成本,就能享受后者的能效優(yōu)勢。
三星稱,17LPV工藝相比傳統(tǒng)28nm,芯片面積可縮小43%,可以帶來39%的性能提升或者49%的功耗降低。
三星17LPV工藝的量產(chǎn)時間沒有說,但三星已經(jīng)宣布第一個服務(wù)對象是ISP圖像信號處理器,屬于三星自家的CMOS傳感器產(chǎn)品線。
此外,三星還打造了14nm LPU工藝,即Low Power Ultimate,但并未透露詳情,可能也是28nm BEOL加上14nm FEOL。
為了在半導體制程工藝上追趕上臺積電,三星在3nm工藝的研發(fā)當中就率先引入了全新的GAA(Gate-all-around,環(huán)繞柵極)技術(shù),并計劃于2021年下半年領(lǐng)先臺積電量產(chǎn)3nm。雖然在今年上半年,三星宣布其3nm GAA工藝已成功流片(Tape Out),但是在“Samsung Foundry Forum 2021”論壇活動上,三星表示轉(zhuǎn)移到全新的GAA技術(shù)難度很高,3nm制程將推遲到2022年上半年量產(chǎn)。
從目前的信息來看,三星3nm的客戶將包括手機芯片大廠高通、服務(wù)器芯片廠商IBM、GPU芯片廠商NVIDIA,以及三星自家的旗艦芯片。
雖然三星3nm的量產(chǎn)時間相比之前的規(guī)劃有所延后,但是由于其率先將GAA工藝引入到了3nm當中,這也使得其3nm的性能有望領(lǐng)先于臺積電依然基于FinFET(鰭式場效應晶體管)工藝的3nm工藝。
傳統(tǒng)的平面晶體管(Planar FET)通過降低電壓來節(jié)省功耗,然而,平面晶體管的短溝道效應限制了電壓的繼續(xù)降低,而FinFET的出現(xiàn)使得電壓得以再次降低,但隨著工藝的繼續(xù)推進,F(xiàn)inFET已經(jīng)不足以滿足需求。于是,GAA技術(shù)應運而生。

如下圖,典型的GAA形式——GAAFET是(Gate-all-around FETs)采用的是納米線溝道設(shè)計,溝道整個外輪廓都被柵極完全包裹,代表柵極對溝道的控制性更好。相比之下,傳統(tǒng)的FinFET 溝道僅3 面被柵極包圍。GAAFET 架構(gòu)的晶體管提供比FinFET 更好的靜電特性,可滿足某些柵極寬度的需求。這主要表現(xiàn)在同等尺寸結(jié)構(gòu)下,GAA 的溝道控制能力強化,尺寸可以進一步微縮。

不過,三星認為采用納米線溝道設(shè)計不僅復雜,且付出的成本可能也大于收益。因此,三星采用了全新的GAA形式——MBCFET(Multi-Bridge-Channel FET,多橋-通道場效應管),采用多層堆疊的納米片來替代GAAFET中的納米線。

三星表示,MBCFET可以在保留所有GAAFET優(yōu)點的情況下,最小化復雜度。同時,MBCFET的設(shè)計可以兼容之前的FinFET技術(shù),可以直接將為FinFET的設(shè)計遷移到MBCFET上,在不提升面積的情況下,提升性能。

在此次論壇上,三星表示,與其5nm制程相較,三星首個3nm GAA 制程技術(shù)將使得芯片面積可再減少35%,性能可提高30%或功耗降低50%。除了功耗、性能和面積(PPA) 上改進,隨著制程技術(shù)成熟,3nm良率將會接近4nm制程。三星預計2022 年推出第一代3nm 3GAE 制程技術(shù),2023年推出更新一代的3nm 3GAP 制程技術(shù)。
2025年量產(chǎn)2nm
由于GAA技術(shù)可以復用在2nm技術(shù)當中,因此,這也使得三星后續(xù)的2nm技術(shù)研發(fā)能夠事半功倍。三星在此次論壇上也首次披露,其更先進的2nm技術(shù)將會如期在2025年量產(chǎn),并于2026年開始有大量基于三星2nm的產(chǎn)品上市。
三星表示,其2nm制程技術(shù)將使芯片性能、能效進一步提升,繼續(xù)推進電子產(chǎn)品的小型化。
三星3nm將反超臺積電,英特爾將在2nm上領(lǐng)先?
相比于三星在制程技術(shù)的激進,臺積電則穩(wěn)扎穩(wěn)打,其3nm工藝將會繼續(xù)采用成熟FinFET技術(shù),并計劃于2022年年中左右量產(chǎn)。雖然此前有傳聞稱臺積電的3nm工藝可能也將會延遲。不過,臺積電表示,“一切依時程進行”。
另外,據(jù)此前外媒的爆料顯示,臺積電對于更為先進的2nm工藝在2023年年底的風險試產(chǎn)良品率達到90%非常樂觀。據(jù)此推測,臺積電的2nm工藝有望將在2024年量產(chǎn)。
值得注意的是,今年3月英特爾已宣布重啟晶圓代工業(yè)務(wù),并且7月的“英特爾加速創(chuàng)新:制程工藝和封裝技術(shù)線上發(fā)布會”上,公布了英特爾工藝制程的全新命名方式(與臺積電的制程工藝命名比照),并宣布在2023年下半年量產(chǎn)基于FinFET技術(shù)的Intel 3(相當于臺積電3nm制程工藝),相比前代的Intel 4,Intel 3 每瓦性能上實現(xiàn)約18%的提升。同時,英特爾還將會在2024年量產(chǎn)基于PowerVia和RibbonFET(GAA)技術(shù)的Intel 20A(相當于臺積電2nm制程工藝)。此外,英特爾還透露將會在2025年推出Intel 18A制程。

目前在晶圓代工市場,特別是在先進制程的競賽當中,所需要的研發(fā)資金投入以及產(chǎn)線建設(shè)成本是越來越高。為此,在該領(lǐng)域目前也只剩下了臺積電、三星和英特爾這三家廠商在競爭。
根據(jù)此前的資料顯示,三星計劃在2030年之前投資133萬億韓元(約合1160億美元),以期成為全球最大的半導體代工企業(yè)。臺積電也計劃在未來三年內(nèi)投入1000億美元。英特爾在重啟晶圓代工業(yè)務(wù)之后,也宣布了超過1000億美元的投資計劃,比如在美國投資200億美元建設(shè)兩座晶圓廠,未來10年在歐洲投資800億歐元建設(shè)至少兩座晶圓廠等。
從資金的投入規(guī)模來看,作為目前的全球晶圓代工市場的龍頭老大,臺積電的在晶圓代工領(lǐng)域的資金投入無疑是最大的。而重啟晶圓代工業(yè)務(wù)的英特爾也是來勢洶洶。在此背景之下,三星的晶圓代工業(yè)務(wù)自然也將是面臨著更大的壓力。
不過,從前面3nm工藝量產(chǎn)時間節(jié)點來看,三星有望在3nm上實現(xiàn)對于臺積電的反超,并且繼續(xù)領(lǐng)先于英特爾。而在之后的2nm制程工藝節(jié)點,英特爾有望實現(xiàn)對臺積電和三星的反超,重新引領(lǐng)全球半導體制程工藝技術(shù)。但是,鑒于英特爾此前曾多次跳票的歷史,外界對其在2024年量產(chǎn)2nm超越臺積電持懷疑態(tài)度。
編輯:芯智訊-浪客劍
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