矽翔微機(jī)電認(rèn)領(lǐng)

矽翔微機(jī)電設(shè)計和生產(chǎn)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、低功耗、超大量程MEMS氣體流量計，核心部件MEMS流量芯片及其專利封裝技術(shù)由公司自主研發(fā)，可用于各類氣體流量計量和測控。近年來公司發(fā)明了熱飛行時間微流測控技術(shù)、場壓力傳感技術(shù)和MEMS渦街流量技術(shù)，為傳統(tǒng)的流體計量帶來了根本性變革，提供了全新的拓展空間。