芯源KINGSEMI
沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司成立于2002年,是由中科院沈陽自動化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國家高新技術(shù)企業(yè),專業(yè)從事半導體生產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務,致力于為客戶提供半導體裝備與工藝整體解決方案。
芯源公司總部位于沈陽市渾南區(qū),并在上海臨港設(shè)有全資子公司。公司總部占地4萬平米,擁有專業(yè)的集成電路工藝開發(fā)和檢測實驗室以及半導體設(shè)備生產(chǎn)組裝車間。芯源公司通過多年技術(shù)積累、創(chuàng)新提高,形成自主知識產(chǎn)權(quán)體系,已擁有授權(quán)專利212項,其中發(fā)明專利159項。沈陽芯源公司作為國內(nèi)知名的高端半導體裝備制造企業(yè),所開發(fā)的涂膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕機、單片清洗機等產(chǎn)品,已形成完整的技術(shù)體系和豐富的產(chǎn)品系列,可根據(jù)用戶的工藝要求量身定制。產(chǎn)品適應不同工藝等級的客戶要求,廣泛應用于半導體生產(chǎn)、高端封裝、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等領(lǐng)域??蓾M足300mm前道制程及300mm先進封裝厚膠工藝制程。芯源公司連續(xù)承擔國家02科技重大專項《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》項目。
2019年12月16日,芯源公司在上交所科創(chuàng)板上市,借力資本市場,芯源將加速提升企業(yè)的創(chuàng)新能力和產(chǎn)品成套能力,以先進可靠的產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)服務贏得客戶信賴,為客戶提供先進的半導體設(shè)備,助推產(chǎn)業(yè)技術(shù)進步。
