半導體制造技術
《半導體制造技術》在半導體領域,技術的變化遵循著摩爾定律的快速節(jié)奏,是以月而不是以年為單位計的?!栋雽w制造技術》詳細追述了半導體發(fā)展的歷史并吸收了當今最新技術資料,學術界和工業(yè)界都稱贊這是一本目前在市場上能得到的最全面、最先進的教材。全書共分20章,章節(jié)根據(jù)應用于半導體制造的主要技術分類來安排,內(nèi)容包括:與半導體制作相關的基礎技術信息;總體流程圖的工藝模型概況,用流程圖將硅片制造的主要領域連接起來;具本講解每一個主要工藝;集成電路裝配和封裝的后部工藝概況。此外,各章為讀者提供了關于質(zhì)量測量和故障排除的問題,這些都是會在硅片制造中遇到的實際問題。
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