沈陽科儀

創(chuàng)建于1958年，主要從事干式真空泵、真空儀器設備的研發(fā)、生產和銷售，并提供相關技術服務，產品主要包括系列羅茨干泵、系列渦旋干泵、大科學裝置、真空薄膜儀器設備和新材料制備設備等

中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司（以下簡稱“公司”）創(chuàng)建于1958年，公司總部位于遼寧省沈陽市渾南區(qū)，占地面積110畝，建筑面積3.5萬平方米。多年來，公司專注于高真空、超高真空、超潔凈真空技術的研究和發(fā)展，是我國集成電路裝備和真空儀器設備的研制、生產基地，先后組建“國家分子束外延技術開發(fā)實驗基地”、“國家真空儀器裝置工程技術研究中心”和“真空技術裝備國家工程研究中心”等科研平臺。

公司主要從事干式真空泵、真空儀器設備的研發(fā)、生產和銷售，并提供相關技術服務。公司產品主要包括系列羅茨干泵、系列渦旋干泵、大科學裝置、真空薄膜儀器設備和新材料制備設備等。公司承擔了國家“863計劃”、“02專項”、“國家重點研發(fā)計劃”等國家級科技專項，并通過自主研發(fā)創(chuàng)新實現了國產干式真空泵在集成電路領域的批量應用，打破了歐美及日本企業(yè)對同類產品的長期壟斷，實現了關鍵裝備的進口替代。公司長期致力于高端科研儀器設備的研發(fā)制造，為我國重大科技基礎設施的建設發(fā)展做出貢獻。在真空鍍膜領域，公司研發(fā)形成了磁控濺射、離子束濺射、電子束蒸發(fā)、高溫真空無油潤滑、高性能高穩(wěn)定性束源爐、復合鍍膜等多項技術。通過多年的研發(fā)創(chuàng)新，公司現已開發(fā)完成第六代分子束外延設備。

公司先后獲得國家科技進步獎6項，中國科學院及省部級科技進步獎20項，擁有專利71項，被認定為國家第二批專精特新“小巨人”企業(yè)、國家高新技術企業(yè)、國家知識產權優(yōu)勢企業(yè)、遼寧省技術創(chuàng)新示范企業(yè)、遼寧省創(chuàng)新型中小企業(yè)、遼寧省省級企業(yè)技術中心等。

公司設立有2個全資子公司——上海上凱儀真空技術有限公司、中科儀（南通）半導體設備有限責任公司；1個分公司——中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司上海分公司。